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We fabricated organic field-effect transistors (OFETs) based a fluorinated copper phthalocyanine (F16CuPc) and copper phthalocyanine (CuPc) as an active layer. And we observed the surface morphology of the F16CuPc thin film. The F16CuPc thin film thickness was 40 nm, and the channel length was 50 m, channel width was 3 mm. And we also fabricated the F16CuPc/CuPc double layer FET and with different F16CuPc film thickness devices. We observed the typical current-voltage (I-V) characteristics and capacitance-voltage (C-V) in F16CuPc FET and we calculated the effective mobility. From the double layer FET devices, we observed the higher drain current more than single layer FET devices.

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