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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 631 - 635 (5page)
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The properties of metal interlayered DLC films between the Si substrate and the DLC films were studied. DC magnetron sputtering method has been used to deposit intermediate layers of metals. And RF-PECVD method has been employed to synthesize DLC onto substrates of the silicon and metal layers. After we used metal inter-layers, such as chromium, nickel, titanium and we studied tribological properties of the DLC films. The thickness of films were observed by field emission scanning electron microscope (FE-SEM). Also the surface morphology of the films were observed by an atomic force microscope (AFM). The crystallographic properties of the films were analyzed with X-ray diffraction (XRD), the friction coefficients were investigated by AFM in friction force microscope (FFM) mode. Tribological performances of the films were estimated by nano-indenter, stress tester measurement.
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/ 1998. / Study of diamond-like carbon films for protective coatings 100-101 (1-3) : 192 ~
/ 1998. / 몰리브덴 팁 전계 방출 소자의 제조 및 다이아몬드 상 카본의 코팅 효과 11 (7) : 508 ~
/ 1999. / 진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조 12 (4) : 17 ~
/ 2002. / Structural analysis of arc deposited diamond-like carbon films by Raman and X-ray photo- electron spectroscopy 94 : 95 ~
/ 2003. / Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films 12 (3-7) : 1041 ~
/ 1998. / 몰리브덴 팁 전계 방출 소자의 제조 및 다이아몬드 상 카본의 코팅 효과 11 (7) : 508 ~
/ 1999. / 진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조 12 (4) : 17 ~
/ 2002. / Structural analysis of arc deposited diamond-like carbon films by Raman and X-ray photo- electron spectroscopy 94 : 95 ~
/ 2003. / Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films 12 (3-7) : 1041 ~
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