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자료유형
학술대회자료
저자정보
조용경 (성균관대학교) 전홍규 (성균관대학교) 조대현 (성균관대학교) 이영제 (성균관대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2006년도 제42회 춘계학술대회
발행연도
2006.6
수록면
260 - 265 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

RF-PECVD 증착에 의한 DLC 코팅막의 트라이볼로지적 특성에 관한 온도의 영향
조용경 ,  전홍규 ,  조대현 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.06 학술대회자료
RF-PECVD로 증착된 DLC 박막의 온도 변화에 따른 트라이볼로지 특성
조용경 ,  신윤하 ,  이영제 Tribology and Lubricants 2006.06 학술저널

초록· 키워드

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DLC (Diamond Like Carbon) films show very desirable surface interactions with high hardness, low friction coefficient, and good wear-resistance properties. The friction behavior of hydrogenated DLC film is dependent on tribological environment, especially surrounding temperature. In this work, the tribological behaviors of DLC (Diamond-like carbon) films, prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RFPECVD) method, were studied in elevated temperatures. The ball-on-disk tests with DLC films on steel specimens were conducted at a sliding speed of 60 rpm, a load of 10 N, and surrounding various temperatures of 25℃, 40℃, 55℃ and 75℃. The results show considerable dependency of DLC tribological parameters on temperature. The friction coefficient decreased as the surrounding temperature increased. After tests the wear tracks of hydrogenated DLC film were analyzed by optical microscope, scanning electron spectroscopy (SEM) and Raman spectroscopy. The surface roughness and 3-D images of wear track were also obtained by an atomic force microscope (AFM).
#Plasma enhanced chemical vapor deposition #Diamond-like carbon films #Friction and wear #Ball-on-disk #Raman spectroscopy

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. DLC 박막의 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
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