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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제10호
발행연도
2002.1
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The structural and electrical properties of PZT (lead zirconate titante) thin films were investigated on Pt (platinum) and Ru/RuO2 (ruthenium/ruthenium oxide) electrodes. Thin films of PZT were deposited on a variety of electrodes using the rf-magnetron sputtering process. PZT films exhibited polycrystalline structure with strong PZT (100) plane and weak (211) plane for an optimizied Pt electrode and (100), (101), (111), (200), (210), (211) planes for Ru/RuO2. Switching polarization versus fatigue characteristic of Pt/Ti electrodes showed 20% degradation up to 1×109 cycles. No significant fatigue was observed in the films on Ru/RuO2 electrodes up to 1×109 test cycles. The results show that the new Ru/RuO2 bottom electrodes are expected to reduce the degradation of ferroelectric fatigue.
#PZT #Ru #RuO2 #hysterisis loop #rf-magnetron sputtering

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