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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제7호
발행연도
2008.1
수록면
669 - 673 (5page)

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ITO thin film was deposited on PC substrate in Facing Targets Sputtering (FTS) system with various sputtering conditions. After it is applied to external bending force, we investigated how change the surface and electrical property of as-deposited ITO thin film. As the L(face-plate distance) of substrate decreases, it found that the maximum crack density is increasing at the center position and decreasing crack density as goes to the edge. So to apply same curvature (r) and bending force to PC substrate with ITO thin film, we fixed the L that is equal to curvature radius (2r). Before bending test, ITO thin films that deposited in the input current of 0.4 A and thickness of 200 nm already had biaxial tensile failure because of each different CTE (Coefficient of Thermal Expansion) and Others had been shown no bending or crack. After bending test, all samples had been shown cracks at about 200 times and as increasing the crack density, resistivity increased.
#FTS #ITO #Bending #PC

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D.R. Cairns / 2000 / Strain- dependent electrical resistance of tin-doped indium oxide on polymer substrates / Applied Physics Letters 76 (11) google schola G.P. Crawford / 2005 / Flexible flat panel displays / Series in Display Technology : 99 ~ google schola Jong-Min Park / 2006 / Bending Effects of Indium-Zinc Oxide Thin Films Deposited on Polyethylene Terephthalate Substrate by Radio Frequency Magnetron Sputtering / Journal of google schola Y. Leterrier / 2004 / Mechanical integrity of transparent conductive oxide films for flexible polymer-based displays / Thin Solid Films 460 : 156 ~ google schola 박준백 / 2003 / Flexible Display 기판 위의 Bending에 따른 ITO 필름의 Stress 분포 / 전기전자재료학회논문지 16 (12S) : 1115 ~ google schola

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