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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 269 - 276 (8page)
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Antimony doped tin oxide ( SnO₂:Sb) films, which are used as the front contact and back reflector of thin film solar cells, have been deposited by d.c. magnetron sputtering. The dependence of electrical and optical properties of the films on the preparation conditions, such as O₂ gas ratio, substrate temperature, annealing temperature was investigated. The sputter gas composition was found to affect the properties of the films. With incorporating O₂ gas, the electrical and optical properties of films significantly were improved. The minimum resistivity and optical transmittance over 80 % in visible region were obtained at the oxygen concentration of 30 %. When the substrate temperature was higher, the resistivity of SnO₂:Sb films was decreased, while the absorption edge shifted to shorter wavelength, indicating higher optical band gap. Heat treatment over 600 ℃ resulted in poorer electrical and optical properties due to SnO phase (102) plane.
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A. F. Carroll / 1976 / Effects of additions to SnO2 thin films / J. Electrochem. Soc. 123 : 1889 ~
A. Rohatgi / 1997 / Design,fabrication,and analysis of greater than 18 % efficient multicrystalline silicon solar cells / Solar Energy Materials and Solar Cells 48 : 187 ~
D. H. Zhang / 1996 / Electrical and optical properties of F-doped textured SnO2 films deposited by APCVD / Solar Energy Materials and Solar Cells 40 : 371 ~
E. Kh. Shokr / 2000 / Sb-doping effects on optical and electrical parameters of SnO2 films / J. Physics and Chemistry of Solids 61 : 75 ~
F. Wooten / 1972 / Optical Properties of Solids / Academic Press : 45 ~
A. Rohatgi / 1997 / Design,fabrication,and analysis of greater than 18 % efficient multicrystalline silicon solar cells / Solar Energy Materials and Solar Cells 48 : 187 ~
D. H. Zhang / 1996 / Electrical and optical properties of F-doped textured SnO2 films deposited by APCVD / Solar Energy Materials and Solar Cells 40 : 371 ~
E. Kh. Shokr / 2000 / Sb-doping effects on optical and electrical parameters of SnO2 films / J. Physics and Chemistry of Solids 61 : 75 ~
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