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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 74 - 79 (6page)
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Most studies on copper Chemical Mechanical Planarization (CMP) have focused on material removal and its mechanisms. Although many studies have been conducted on the mechanism of Cu CMP, a study on uniformity in Cu CMP is still unknown. Since the aim of CMP is global and local planarization, the approach to various factors related to uniformity in Cu CMP is essential to elucidate the Cu CMP mechanism as well. The main purpose of the experiment reported here was to investigate and mechanically analyze the roles of slurry components in the formation of the uniformity in Cu CMP. In this paper, Cu CMP was performed using citric acid(C6H8O7), hydrogen peroxide(H2O2), colloidal silica, and benzotriazole(BTA, C6H4N3H) as a complexing agent, an oxidizer, an abrasive, and a corrosion inhibitor, respectively. All the results of this study showed that within-wafer non-uniformity(WIWNU) of Cu CMP could be controlled by the contents of slurry components.
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C.-K., Hu / 1995 / Copper interconnection integration and reliability / Thin Solid Films 262 (1-2) : 84 ~
H. J. Kim / 2004 / Effect of process conditions on uniformity of velocity and wear distance of pad and wafer during chemical mechanical planarization / Journal of Electronic
J. Hernandez / 2001 / Surface chemistry studies of copper chemical mechanical planarization / Journal of The Electrochemical Society 148 (7) : 389 ~
P. Wrschka / 2000 / Chemical mechanical planarization of copper damascene structures / Journal of The Electrochemical Society 147 (2) : 706 ~
Q. Luo / 2000 / Dishing effects during chemical mechanical polishing of copper in acidic media / Journal of Electrochemical Society 147 (12) : G4639 ~
H. J. Kim / 2004 / Effect of process conditions on uniformity of velocity and wear distance of pad and wafer during chemical mechanical planarization / Journal of Electronic
J. Hernandez / 2001 / Surface chemistry studies of copper chemical mechanical planarization / Journal of The Electrochemical Society 148 (7) : 389 ~
P. Wrschka / 2000 / Chemical mechanical planarization of copper damascene structures / Journal of The Electrochemical Society 147 (2) : 706 ~
Q. Luo / 2000 / Dishing effects during chemical mechanical polishing of copper in acidic media / Journal of Electrochemical Society 147 (12) : G4639 ~
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