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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제10호
발행연도
2014.1
수록면
668 - 672 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2020

MWCNT/ZnO Hybrid Nanocomposited Films 을 이용한 NOx 가스 검출 특성 및 계면 특성 분석
김현수 나노과학기술융합학과 2020.01 학위논문

2015

MOSFET 식 MWCNT 가스센서의 제작과 NOx 가스 검출 특성 분석
김현수 나노과학기술융합학과 전기공학 전공 2015.01 학위논문

2014

MOS-FET구조의 MWCNT 가스센서에서 Vgs의 변화에 따른 NOx 가스 검출 특성
김현수 ,  장경욱 ,  박용서 전기전자재료학회논문지 2014.01 학술저널
MWCNT 가스센서의 전극 간극 변화에 따른NOx 가스 검출 특성
김현수 ,  장경욱 전기전자재료학회논문지 2014.01 학술저널

2013

MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성
김현수 ,  이승훈 ,  장경욱 전기전자재료학회논문지 2013.01 학술저널

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본 연구에서는 우수한 전도 특성과 화학적 안정성, 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 탄소 나노튜브를 화학 기상 성장법 (chemical vapor deposition, CVD)을 이용하여 MWCNT (multi-walled carbon nanotube)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET구조의 NOx가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서에 대해서 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였으며, 가스센서의 게이트-소스 사이의 전압 변화에 따른 가스센서의 저 농도 NOx 가스 검출 특성을 실험하였다. 또한, 전극 간극과 온도의 변화에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 게이트-소스전압()의 변화에 따른 흡착에너지 특성을 분석하였다.
#MWCNT #multi-walled carbon nano tube) #MOS-FET #NOx gas sensor #Electrode spacing #Vgs #gate-source voltage)

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A. Abdellah / 2013 / / J. IEEE Sens 13 : 10 ~ google schola A. Afzal / 2012 / / Sensor and Act. B 171 : 25 ~ google schola B. L. Allen / 2007 / / Adv. Mater. 19 : 1439 ~ google schola E. H. Espinosa / 2007 / / Thin Solid Films 515 : 8322 ~ google schola H. J. Yoon / 2011 / / Sensor and Act B:Chem. 157 : 310 ~ google schola

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