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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 707 - 711 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
2020
2014
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본 연구에서는 우수한 전도특성과 화학적 안정성, 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 카본 나노튜브 (Carbon nanotubes)를 이용하여 MOS-FET 구조의 가스센서를 제작하였다. CNT를 CVD법을 이용하여 MWCNT (multi-walled carbon nanotuve)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET 구조의 NOx 가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서를 이용하여 게이트-소스사이에 전압을 인가 시 가스센서의 특성을 실험 하였으며, 가스센서의 SEM 및 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였다. 또한, NOx 가스의 농도와 온도에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 흡착에너지 특성을 분석하였다.
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