지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 665 - 669 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2016
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
우리는 boron rich layer (BRL)을 제거하기 위해서 in-situ oxidation과 chemical etching treatment (CET)의 두 가지 방법을 비교하였다. BRL은 일반적으로 보론 도핑 공정에서 생성된다. BRL은 소수전하수명 등 전기적 특성을 저하시키지 않게 조절해야만 한다. 보론 에미터는 930℃에서 액체 BBr3를 사용하여 형성하였다. 그리고 난 후, 온도를 감소하는 구간에서 1,000 sccm의 O2를 주입하는 in-situ oxidation 방법과 HF, HNO3, CH3COOH를 혼합한 산 용액을 사용하여 짧은 시간동안 식각하는 CET 방법을 비교하였다. 그리고 Al2O3를 증착하여 패시베이션 효과를 확인하였다. in-situ oxidation 방법에서 전하수명과 개방전압이 각각 110.9 ㎲, 635 mV, 그리고 CET 방법에서는 각각 188.5 ㎲, 650 mV의 결과를 얻었다. 결과적으로 CET가 BRL이 더 균일하게 제거되기 때문에 in-situ oxidation에 비해 좋은 특성을 보였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
BBr₃ 확산 공정에서 Dry Oxidation이 Boron Emitter 도핑 프로파일에 미치는 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
-
N-type 고효율 태양전지용 Boron Diffused Layer의 형성 방법 및 특성 분석
전기전자재료학회논문지
2017 .03
-
Synthesis of boron carbide powder through gas-solid reaction method using nanoporous carbon as carbon source
Journal of Ceramic Processing Research
2023 .02
-
Voltammetric Determination of Boron by Using Carbon Electrode with Boron-Azomethine-H Complex Formation
대한환경공학회 학술발표논문집
2016 .11
-
가열조건에 따른 보론강 Al-Si 코팅층의 결함분석
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
-
Innovative Green MR-TADF Emitter for Solution-Processed OLEDs Designed by Combining Oxygen-Bridged Boron and Nitrogen-Bridged Boron Multiple Resonance Frameworks
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
-
Development of accuracy enhancement system for boron meters using multisensitive detector for reactor saf
Nuclear Engineering and Technology
2020 .01
-
Surface modification method of boron-doped diamond electrode for electrochemical wastewater treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
-
보론 나노연료 보론연소의 광학적 분석
한국추진공학회 학술대회논문집
2024 .11
-
선택적 캐리어 수집을 위한 터널 산화막을 이용한 결정질 실리콘 태양전지
신·재생에너지
2017 .09
-
고속 유동 내에서의 보론 입자 연소 효율 향상을 위한 수치적 연구
한국추진공학회 학술대회논문집
2023 .05
-
n-TOPCon 태양전지의 BRL 제거를 위한 화학적 공정 최적화 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .07
-
직접과 간접 딥 드로잉 공정의 영향에 따른 보론 판재의 성형성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
자기 융착 액상 실리콘의 붕소 활성화 시스템 설계
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
-
CH₄ 농도 변화가 Boron Doped Diamond 박막의 표면형상 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
Thermal-CVD를 이용한 Boron-TiO₂ 코어-쉘 나노 입자 제조에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
-
Methanol assisted hydrogen production at the interface of 2D few layered boron nanosheets
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
Boron Doped Diamond 전극의 붕소 농도에 따른 전기화학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
-
건식 산화 공정이 보른 에미터 도핑 프로파일에 미치는 영향 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
-
보론강에대한 고냉각속도 핫스탬핑 공정 기술
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0