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Micro Hotplate (MHP) is the key component in micro-sensors, particularly gas sensors. Indeed, in metal oxide gassensors MOX, micro-heater is used as a hotplate in order to control the temperature of the sensing layer which shouldbe in the requisite temperature range over the heater area, so as to detect the resistive changes as a function of varyingconcentration of different gases. Hence, their design is a very important aspect. In this paper, we have presented thedesign and simulation results of a meander micro heater based on three different materials - platinum, titaniumand tungsten. The dielectric membrane size is 1.4 mm × 1.6 mm with a thickness of 1.4 μm. Above the membrane,a meander heating film was deposed with a thickness of 100 nm. In order to optimize the geometry, a comparativestudy by simulating two different heater thicknesses, then two inter track widths has also been presented. Powerconsumption and temperature distribution were determined in the micro heater´s structure over a supply voltage of 5,6, and 7 V.

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