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Chang-Heon Oh (Gachon University) Suyoung Cheon (Yonsei University, Wonju) Changjin Lim (Yonsei University, Wonju) Jeongjun Lee (Yonsei University, Wonju) Jihyun Jeon (Yonsei University, Wonju) Kyoung-Kook Kim (Korea Polytechnic University) Chan-Moon Chung (Yonsei University, Wonju) Soohaeng Cho (Yonsei University, Wonju)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.26 No.4
발행연도
2017.7
수록면
66 - 69 (4page)

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Physically implanted surface islands of Nano Carbon Tube (NCT) and α-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> particles have been produced on Al-doped ZnO (AZO)/glass surfaces by simple and direct ND:YAG laser beam irradiation. Sheet resistance of the reconstructed surface increased by about 3.6% of over AZO. Minimal surface damage can be repaired by ND:YAG laser beam irradiation in conjunction with proper impurities. Implanted islands of NCT, which are considered to be a good conductive impurity, on AZO increased the sheet resistance by about 1.8%, while implanted islands of α-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>, an insulating impurity, on AZO increased sheet resistance by about 129% compared with a laser beam treated AZO. This study provides insight regarding surface implantations of nanowires and micro-circuits, doping effects for semiconductors and optical devices, surface area and impurity effects for catalysis.
#AZO #ND:YAG LASER #IMPLANT #Nano Carbon tube #α-Fe< #SUB> #2< #/SUB> #O< #SUB> #3< #/SUB>

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental Procedure
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
Y. J. Moon, H. Kang, K. Knag, S -J Moon, and J. Y. Hwang, J. Electron. Mater. 44, 1192 (2015). H. Kim, H. -H Park, and J. Kim, Mat. Sci. Semicon. Proc. 48, 79 (2016). Q. Qi, Y. Liu, H. Zhang, J. Zhao, and Z. Huang, J. Alloy. Compd. 678, 375 (2016). D. Murley, N. Young, M. Trainor, and D. McCulloch, IEEE Trans. Electron. Dev. 48, 1145 (2001). I. Ozerov, M. Arab, V. I. Safarov, W. Marine, S. Giorgio, M. Sentis, and L.Nanai, Appl. Surf. Sci. 226, 242 (2004).

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