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학술저널
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Chang-Heon Oh (Gachon University) Suyoung Cheon (Yonsei University, Wonju) Changjin Lim (Yonsei University, Wonju) Jeongjun Lee (Yonsei University, Wonju) Jihyun Jeon (Yonsei University, Wonju) Kyoung-Kook Kim (Korea Polytechnic University) Chan-Moon Chung (Yonsei University, Wonju) Soohaeng Cho (Yonsei University, Wonju)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.26 No.4
발행연도
2017.7
수록면
66 - 69 (4page)

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Physically implanted surface islands of Nano Carbon Tube (NCT) and α-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> particles have been produced on Al-doped ZnO (AZO)/glass surfaces by simple and direct ND:YAG laser beam irradiation. Sheet resistance of the reconstructed surface increased by about 3.6% of over AZO. Minimal surface damage can be repaired by ND:YAG laser beam irradiation in conjunction with proper impurities. Implanted islands of NCT, which are considered to be a good conductive impurity, on AZO increased the sheet resistance by about 1.8%, while implanted islands of α-Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>, an insulating impurity, on AZO increased sheet resistance by about 129% compared with a laser beam treated AZO. This study provides insight regarding surface implantations of nanowires and micro-circuits, doping effects for semiconductors and optical devices, surface area and impurity effects for catalysis.

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental Procedure
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References

참고문헌 (17)

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