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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제1호
발행연도
1996.3
수록면
62 - 66 (5page)

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(Ba_(1-X)Sr_x)TiO₃ (BST) thin films have been grown on Pt-coated MgO by metal-organic chemical vapor deposition. X-ray diffraction results showed that BST films were grown on a Pt/MgO substrate with (100) preferred orientation perpendicular to the surface. The linear relationship of P-E curve obtained from hysteresis loop measurement indicated that the BST films had a Curie transitions below room temperature. Films deposited at 900℃ exhibited a smooth and dense microstructure, a dielectric constant of 202, and a dissipation factor of 0.02 at 100 kHz. The leakage current density of the BST films is about 2×10^(-10) A/㎠ at an applied electric field of 0.2 MV/㎝. The electrical behavior on the current-voltage characteristics is well explained by the bulk-limited Pool-Frenkel emission.

목차

ABSTRACT

Ⅰ. INTRODUCTION

Ⅱ. EXPERIMENTAL PROCEDURE

Ⅲ. RESULTS and DISCUSSION

Ⅳ. CONCLUSIONS

REFERENCES

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001260716