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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제2호
발행연도
1996.6
수록면
99 - 106 (8page)

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각분해 X-선광전자분광법 데이터로부터 화학종의 깊이분포에 대한 정보를 얻기 위한 두가지 종류의 regularization 방법 (singular system과 HMP 방법)을 연구하였다. 두 방법은 매우 다른 알고리즘을 채택하고 있지만 정성적으로 유사한 결과를 보였다. 시뮬레이션을 통하여 ARXPS 데이터에 regularization 방법을 적용 하였을 때 복잡한 형태의 깊이분포를 가진 시료에 대하여 유용함을 알 수 있었다. 이방법으로부터 상당한 양의 실험오차를 가지고 있는 데이터로부터 의미 있는 깊이분포를 얻을 수 있었다. generalized cross-validation 방법을 이용하여 ARXPS 데이터로부터 regularization 방법에서 중요한 변수인 smoothing parameter 값의 최적치를 자동으로 구하도록 하였다.

목차

Abstract

요약

1. Introduction

2. Results and Discussion

3. Conclusions

References

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