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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1996.6
- 수록면
- 119 - 126 (8page)
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고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조된 3 mol%와 8 mol% YSZ 박막의 스퍼터링 가스 내의 산소농도, 기판온도 및 Ar 압력에 따른 조직 및 광학적 특성을 조사하였다. 제조된 박막과 타게트의 결정구조는 서로 상이하게 나타났다. 3 mol% YSZ 박막의 경우 스퍼터링 가스 내의 산소농도가 증가함에 따라 grain-like particle의 크기가 감소하였지만 8mol% YSZ 박막의 경우는 증가하는 경향을 보여주었으며, 8 mol% YSZ 박막의 투과율은 3 mol% YSZ 박막의 두께보다 더 두꺼운 두께에도 불구하고 더 높았다. 3 mol% YSZ 박막의 굴절률은 스퍼터링 가스 내의 산소농도가 증가함에 따라 증가하였지만 8 mol% YSZ 박막의 경우는 감소하는 경향을 보여주었다 또한 8 mol% YSZ 박막의 투과율은 기판온도 및 Ar 압력에 크게 영향을 받지 않았지만 굴절률은 큰 영향을 받았다.
목차
Abstract
요약
1. Introduction
2. Experimental procedures
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References
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