YSZ를 완충층으로 적층성장된 절연막(CeO₂ / YSZ / Si)위에 증착한 Si박막의 결정성 향상에 관한 연구

이기욱 ,  양지훈 ,  양재건 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석

양지훈 ,  문병식 ,  박종윤

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Epitaxial growth of Si film on CeO₂ / YSZ / Si(111)

양지훈 ,  이기욱 ,  서진우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Si(100)기판 위에 증착된 CeO₂(200)박막과 CeO₂(111)박막의 전기적 특성 비교

이헌정 ,  김진모 ,  김이준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

절연체(CeO₂ / Si)위에 성장된 Silicon박막의 특성 연구

김관표 ,  양지훈 ,  문병식 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Indium이 도핑된 CeO₂ / Si박막과 Si / CeO₂ / Si박막의 발광 현상

문병식 ,  양지훈 ,  김관표 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김진모 ,  김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

절연체(CeO₂ / Si)위에 성장된 실리콘 박막의 특성 연구

양지훈 ,  문병식 ,  김관표 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Structural and Optical Properties of RF Magnetron Sputtered Yttria - Stabilized Zirconia Thin Films

이유기 ,  박종완

Applied Science and Convergence Technology

1996 .06

Si(100), Si(111)기판위에 RF - magnetron sputtering법으로 성장된 CeO₂박막의 특성

장선희 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Si / In / CeO₂ / Si박막의 Indium분포와 photoluminescence

문병식 ,  양지훈 ,  김종걸 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

산소 플라스마에서의 분자살 적층성장에 의한 CeO₂ 박막의 성장과 구조

김용주 ,  S. A. Chambe ,  s

Applied Science and Convergence Technology

2000 .02

Effect of the multilayer structure on electrical and mechanical properties of thin film yttria stabilized zirconia electrolyte

In-Ho Jung ,  You-Kee Lee ,  Jong-Wan Pa 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .04

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Ce Target을 사용한 Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 Si(100) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Plastic 기판위에서 seed layer를 이용한 μc - Si 박막 저온성장 연구

김도영 ,  서창기 ,  배성진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Al(111) 표면 위에 성장시킨 Ag 초박막의 성장 구조

김상현 ,  박종윤 ,  서지근 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

CeO₂ 박막의 결정성 및 전기적 특성에 미치는 sputtering시 산소분압비의 영향

박상식

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiO_x 박막연구

정유정 ,  윤정흠 ,  이성훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08