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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제4호
발행연도
1994.12
수록면
401 - 404 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1994

이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선
김정선 ,  여환욱 ,  박종윤 Applied Science and Convergence Technology 1994.12 학술저널

1993

이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선에 관한 연구
김정선 ,  여환욱 ,  이상균 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1993.02 학술대회자료

초록· 키워드

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초고진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세 가지 형태의 60(l/s)형 이온펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 이온펌프의 설계 및 제작

3. 제작된 펌프의 배기특성 조사

4. 결론

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