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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제5호
발행연도
2006.9
수록면
451 - 457 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

벌집형 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석
하태균 ,  안병남 ,  이득진 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2006.09 학술저널
벌집형 셀구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석
하태균 ,  안병남 ,  이득진 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

초록· 키워드

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벌집형 양극 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프를 제작하여 그 성능을 측정하고 기존의 원통형 구조와 비교하였다. 원통형 구조는 원통과 원통 사이에 기체의 이온화에 크게 기여하지 못하는 공간(dead space)이 전체의 10 % 정도 존재하는데, 벌집형 구조에서는 이러한 공간이 없으므로 이론적으로는 배기성능 또한 최대 10 % 정도 향상될 것으로 예측된다. 이러한 점에 착안하여 본 연구에서는 원통형 및 벌집형 셀 구조의 스퍼터 이온펌프를 제작하여 배기성능을 측정하여 서로 비교하였다. 그 결과 벌집형 구조가 원통형 구조에 비해 압력 구간에 따라서 5 % ~ 11 % 정도 배기속도가 높은 것으로 나타났다.
#스퍼터 이온펌프 #배기속도 #페닝방전 #벌집형 구조 #Sputter ion pump #Penning discharge #pumping speed #honeycomb structure

목차

한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 요약
감사의 글
참고문헌
영어 초록

참고문헌 (0)

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