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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.9
- 수록면
- 275 - 279 (5page)
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Low Energy Electron Diffraction(LEED)와 Synchrotron Radiation Photoelectron Spectroscopy(SRPES)를 이용하여 Si(111)7×7 표면위에 Mg의 흡착에 의한 초기계면과 실리사이드의 형성에 대하여 연구하였다. 기판온도를 상온으로 유지하는 경우, 증착량의 증가에 따라 LEED pattern은 diffuse 7×7, diffuse 1×1, 2/3√3×2/3√3×3 R30℃ 구조로 변화하였다 300℃의 기판온도에서 관측되는 1×1 구조에 대한 surface sensitive Si 2p core level spectrum의 fitting 결과로부터, 이 1×1 구조는 적층성장한 Mg₂Si 박막에 의한 구조임을 알 수 있다. 그러나 이 1×1 구조를 가진 Mg₂Si 박막은 기판과의 큰 격자 비정합에 의하여 계속 적층성장하지 못하고, 또한 이 박막이 Mg의 확산을 막는 장벽 역할을 함에 의하여 Mg₂Si 박막이 성장하지 못함을 예상할 수 있다. 그 결과 Mg의 계속된 증착에도 불구하고 비정질의 Mg박막이 성장하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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