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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제3호
발행연도
1997.8
수록면
177 - 180 (4page)

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Angle Resolved Ultraviolet Photoemission Spectroscopy(ARUPS) 연구를 위한 표면 구조 확인과 표면 방향 결정을 위한 LEED를 제작하여 그 성능을 조사하였다. 컴퓨터 시뮬레이션을 이용하여 제작에 필요한 요인들을 최적의 값으로 결정하였다. 제작된 LEED는 3 Grid 방식을 채택하였고 시료와 스크린 사이의 거리를 75 ㎜, 투영 각도를 80˚로 하였다. 전자총은 TV gun을 사용하였고 이 gun의 특성을 조사하였다. 완성된 LEED의 성능 조사를 위하여 Si(001), AI₂O₃(0001) 표면의 LEED pattern을 분석하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 장치 제작

3. 결론

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