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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제2호
발행연도
2001.7
수록면
252 - 256 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2019

분광타원편광분석법을 이용한 2차원 MoSe₂ 박막의 온도변화에 대한 유전율 함수와 변수화 모델
김태중 ,  박한결 ,  Van Long Le 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.02 학술대회자료

2010

분광타원분석법을 이용한 InAs 유전율 함수의 온도의존성 연구
김태중 ,  윤재진 ,  공태호 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2002

분광 ellipsometry 를 이용한 ZnS의 유전율 함수에 관한 연구
김태중 ,  김영동 ,  최용대 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

2001

분광타원법을 이용한 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수에 관한 연구
김태중 ,  성가영 ,  최재규 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2001.07 학술저널
분광 ellipsometry 를 이용한 InxGal - xAs 박막의 유전율 함수에 관한 연구
김태중 ,  최재규 ,  김영동 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
분광 ellipsometry를 이용한 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수에 관한 연구
김태중 ,  구민상 ,  이민수 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

초록· 키워드

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분광타원법을 이용하여 상온에서 ZnSe의 유전율 함수를 측정하였다. 순수한 ZnSe의 유전율 함수를 얻기 위해서 적절한 화학적인 식각법을 행함으로써 시료표면의 산화막을 제거하였고, 그 결과 이전에 보고된 것보다 더 좋은 결과를 얻을 수 있었으며, 또한 이전의 산화막 제거 방법에 문제가 있었음을 알 수 있었다. 산화막을 제거하기 전의 유사 유전율 함수와 그것을 수행한 후의 유전율 함수에 대해 브루그먼 유효매질 어림이론을 사용하여 비정질 Se, GaAsO₃, void 등의 물질을 조합함으로써 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수를 결정하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001262018