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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제3호
발행연도
1992.10
수록면
323 - 331 (9page)

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다층 panel형 cryoarray를 갖는 원통형 cryopump의 정적 pumping 특성을 view factor를 이용한 수치적 방법으로 해석하였다. 해석모델은 단순 원판을 기본으로 하고, 여기에 상향 및 하향의 skirt를 부착한 실질적 array를 대상으로 하였으며, 형상, 크기 및 panel 갯수를 변화시키면서 array 전체의 총 pumping 효율과 array 내의 pumping 속도분포를 모두 구하였다. 다층 panel array에서도 single panel의 경우와 같이 type Ⅲ 개스(He, H₂)에 있어서는 pumping 효율을 최대로 하는 최적의 크기가 있으며, panel 수효가 증가하면 pumping 속도는 약간만 증가하나 총 pumping 용량은 이에 비례하여 증가한다. Skirt의 각도를 상향으로 변화시키면 type Ⅲ 개스의 상대적 pumping속도가 증가되며 type Ⅱ 개스에 의한 cryosorbent의 오염도는 대략 10% 정도이다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. Pumping Speed 해석방법

3. Array 형상별 Pumping 특성

4. 결론

참고문헌

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