수소 분위기 중 열처리법을 이용한 고자기이방성 L₁₀ FePt 박막 제작

공석현; 김경환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 공석현 김경환

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제5호

발행연도: 2007.9

수록면: 343 - 347 (5page)

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2007

수소 분위기 중 열처리법을 이용한 고자기이방성 L₁₀ FePt 박막 제작

공석현 , 김경환 Applied Science and Convergence Technology 2007.09 학술저널

수소 분위기 중 열처리법을 이용한 고자기이방성 L1₀ FePt 박막 제작

공석현 , 김상모 , 김경환 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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Glass disk상에 대향 타겟식 스퍼터링(Facing Target Sputtering) 방식을 이용하여 0.1 Å/s의 낮은 증착속도로 증착시킬 경우 b.c.c. (100)면 우선배향성을 확인하였으며, 그 위에 Pt박막을 증착시킨 경우 hetero-epitaxial 성장에 의해 Pt박막이(111)의 조밀면이 아닌 (100)면이 우선배향 되었다. 이렇게 형성된 Fe (100)/Pt (100) 이층막(두께 각 3 nm)을 600 ℃ 수소분위기에서 열처리함에 의해 막전체에 걸쳐서 f.c.t. (00n)면을 형성시키는 데 성공하고, 또한 Fe (100)면 상에 Pt 박막을 증착시키는 동안 열처리를 하고 증착 이후 수소분위기에서 열처리함에 의해 열처리 시간 및 온도를 크게 낮출 수 있음을 확인하였다.

#FePt #열처리 #Pt #f.c.t #annealing process

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