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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제5호
발행연도
2008.9
수록면
419 - 425 (7page)

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10 mTorr의 이하의 저압조건에서는 비 충돌에 의한 anomalous skin effect 과정이 반드시 고려되어 한다는 것이 선행 연구결과를 통해 학술적으로 입증된 바 있다. 그러나 단면적이 0인 필라멘트 타입의 전류 모델을 적용했기 때문에 안테나 중심에서 전기장이 무한대가 되는 비 물리적인 현상이 발생하게 되는 문제가 있다. 따라서 본 연구에서는 단면이 유한한 표면 전류모델을 적용하여 안테나 영역에서의 전기장을 계산하였으며, 필라멘트 타입의 전류 모델을 적용했을 때와 여러 조건에서 비교하였다.
#표면 전류 모델 #파동방정식 #전기장 #TCP #Surface current model #Wave equation #Electric field

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 안테나 영역에서 전기장 계산
Ⅲ. 결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - N. S. Yoon / 1995 / Korean Phys / Soc 28 (172) google schola 2. [학술지(정기간행물)] - N. S. Yoon / 1996 / Phys / Rev 54 (757) google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. S. Kim / 1996 / Korean Phys / Soc 29 (678) google schola 4. [학술지(정기간행물)] - N. S. Yoon / 1997 / Phys / Rev 55 (7536) google schola 5. [학술지(정기간행물)] - N. S. Yoon / 1997 / J. Korean Phys / Soc 32 (196) google schola

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