ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호; 강현철

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자료유형: 학술저널

저자정보: 선정호 강현철 (조선대학교)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제5호

발행연도: 2009.9

수록면: 394 - 401 (8page)

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2009

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 , 강현철 Applied Science and Convergence Technology 2009.09 학술저널

ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

선정호 , 강현철 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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본 논문은 ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 glass 기판 위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 보고한다. 소결된 ZnO ceramic target을 사용하는 보통의 radio-frequency magnetron sputtering과 달리 본 연구에서는 전처리과정이 필요하지 않은 ZnO 분말 target을 사용하였다. ZnO 박막은 wurtzite (0002) 우선배향면으로 성장하였다. 초기의 ZnO 박막은 매우 평평한 층구조로 증착되었고, 두께가 증가함에 따라 섬구조로 전이하였다. 400-1000 ㎚ 광원에 대하여 평균 88% 이상의 광투 과도를 나타내었으며, 220 ㎚ 시편의 경우, 3.23 eV의 near bandedge emission 흡수단을 측정하였다.

#ZnO #RF magnetron sputtering #박막 #투명전극 #Powder target #Thin film #Transparent conducting oxide

참고문헌 (27)

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1. [학술대회논문] - V. A. Coleman / 2007 / / Thin Films and Nanostructures-Processing, Properties and Applications

2. [학술지(정기간행물)] - S.-S. Park / 2008 / / Nanotechnology 19 : 245708 ~

3. [학술지(정기간행물)] - Shingo Komura / 2008 / Fabrication of ZnO Hexagonal Micropyramids by Using an rf-Magnetron Sputtering Method / Journal of the Korean Physical Society 53 (1) : 38 ~ 41

4. [학술지(정기간행물)] - D. S. Park / 2008 / Growth of and Oxygen-Flow In uence on ZnO Layers Grown by Using RF Magnetron Sputtering / Journal of the Korean Physical Society 53 (6) : 3250 ~ 3254

5. [학술지(정기간행물)] - 김준제 / 2009 / RF 스퍼터의 POWER 변화에 따른 플라스틱 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 특성 연구 / 새물리 58 (4) : 471 ~ 476

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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강현철

소속기관 조선대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 33 이용수 819

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