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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제3호
발행연도
1998.8
수록면
201 - 207 (7page)

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본 연구는 rf reactive magnetron sputtering 방법으로 증착한 ZnO 박막을 압전진동자로 제작하였을 때 발생하는 금속전극과의 계면특성에 대해 조사하였다. 이때 ZnO 박막은 금속 아연 target을 산소분위기에서 sputtering 하여 얻었다. 미리 얻은 최적성장조건으로 Cr/ZnO/Cr의 구조를 갖는 압전 진동자를 제작한 후, 금속전극과 ZnO 박막과의 계면특성을 분석하였다. 제작된 압전진동자는 I-V 측정, AES depth profile, SEM, C-V 측정등을 이용하여 분석하였고, 이러한 분석 결과 금속전극과 ZnO 박막 사이에 SiO₂확산방지막을 쌓은 Cr/SiO₂/ZnO/Cr의 구조로 ZnO 압전진동자를 제작했을 때 좋은 특성을 보임을 알 수 있었다. 그리고, 이러한 사실은 제작된 진동자를 구동시키고 이에 대한 인가진동수에 따른 진동변위를 측정해보므로써 확인할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 및 측정

3. 결과 및 논의

4. 결론

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