초음파 음향임피던스 변환기를 이용한 저압 저진공 측정기술 연구

홍승수; 신용현; 조승현; 안봉영; 임종연; 최인묵

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍승수 (한국표준과학연구원) 신용현 (한국표준과학연구원) 조승현 (한국표준과학연구원) 안봉영 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원) 최인묵 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제5호

발행연도: 2010.9

수록면: 319 - 325 (7page)

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초음파 변환기의 기체 음향임피던스 변화를 이용해서 압력진공 측정기술을 연구하였다. 상용화된 한 쌍의 500 ㎑ 공중 초음파 변환기(air-coupled ultrasonic transducer)를 진공용기에 넣고 초음파 진폭을 측정하였다. 그 결과 6.66 ㎪에서 202.65㎪ (약 2기압)까지 4회 반복 측정값으로부터 계산된 표준편차는 0.0093에서부터 0.3325 사이에 있었으며, 표준편차를 압력으로 나누어서 백분율로 나타낸 값은 133.32 ㎪에서 0.018%이었고 202.65 ㎪에서는 0.164%이었다.

#초음파 #임피던스변환기 #반복성 #압력진공센서 #Ultrasonic wave #Impedance transducer #Repeatability #Pressure vacuum sensor

참고문헌 (16)

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1. [학술지(정기간행물)] - Seung-Soo Hong / 2004 / Bilateral comparison od medium vacuum standards between PTB and KRISS / Journal of the Korean Physical Society 44 (6) : 1364 ~ 1348

2. [학술지(정기간행물)] - 홍승수 / 2005 / 초음파간섭 수은주압력계와 정적법 중진공 국가표준기 상호비교 / 한국진공학회지 14 (3) : 103 ~ 109

3. [학술지(정기간행물)] - 홍승수 / 2003 / 용량형 격막식 게이지와 공진형 실리콘 게이지의 저진공 특성 / 한국진공학회지 12 (3) : 151 ~ 156

4. [학술지(정기간행물)] - 홍승수 / 2001 / 용량형진공계 교정 불확도 / 한국진공학회지 10 (2) : 173 ~ 181

5. [학술대회논문] - E. Rosenkrantz / 2007 / / 19th International congresson acoustics : 2 ~

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