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This paper presents an air flow sensor (AFS) based on a polymer thin film. This AFS primarily consists of a polymer membrane attached to a metal-patterned glass substrate and a temperature-sensing element composed of NiCr. These two components were inte-grated on a single glass substrate. The AFS measures changes in capacitance caused by deformation of the polymer membrane basedon the air flow and simultaneously detects the temperature of the surrounding environment. A readout integrated circuit (ROIC) was also fabricated for signal processing, and an ROIC chip, 1.8 mm by 1.9 mm in size, was packaged with an AFS in the form of a system-in-package module. The total size of the AFS is 1 by 1 cm, and the diameter and thickness of the circular-shaped polymer membraneare 4 mm and 15 µm, respectively. The rate of change of the capacitance is approximately 11.2% for air flows ranging between 0 and40 m/s
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L. Gu / 2004 / A novel capacitve-type humidity sensor using CMOS fabrication technology / Sens. Actuators B 99:491~498
U. Kang / 2000 / A high-speed capacitive humidity sensor with on-chip thermal reset / IEEE Trans. Electron. Devices 47:702~710
J. Laconte / 2003 / Capacitive humidity sensor using a polyimide sensing film / DTIP MEMS MOEMS :223~228
C. Dai / 2006 / A capacitive humidity sensor integrated with micro heater and ringoscillator circuit fabricated by CMOS–MEMS technique / Sens. Actuators B 1(6)
S. Park / 2003 / A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit / Sens. Actuators B 91:347~352
U. Kang / 2000 / A high-speed capacitive humidity sensor with on-chip thermal reset / IEEE Trans. Electron. Devices 47:702~710
J. Laconte / 2003 / Capacitive humidity sensor using a polyimide sensing film / DTIP MEMS MOEMS :223~228
C. Dai / 2006 / A capacitive humidity sensor integrated with micro heater and ringoscillator circuit fabricated by CMOS–MEMS technique / Sens. Actuators B 1(6)
S. Park / 2003 / A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit / Sens. Actuators B 91:347~352
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