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Pressure sensors are used in various industries such as automobiles, airplanes, medical equipment, and coolers. Even if the ambient temperature changes, the measurement is reliable and stable. In this study a diaphragm-type pressure sensor was used to derive a temperature-compensated pressure estimation equation for accurate pressure measurement at 100 oC and -40 oC. To understand the characteristics of the pressure sensor diaphragm with respect to temperature and pressure, experiments were conducted in temperaturevariable chamber using FEM analysis to confirm that the influence of temperature effect was nonlinear. Based on the experimental results, a nonlinear method for calculating the pressure by compensating for the error due to temperature was derived. The calculated pressure value is lower than 0.5 % at low and high temperatures, and lower than 0.4 % at 22 oC, thereby eliminating the effect of temperature
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I. Obieta / 1994 / Sputtered silicon thin film for piezoresistive pressure micro-sensors / Sens. Actuators A 42(1-3):685~688
Y. Suzuki / 1994 / CrOx Thin Film Pressure Sensor Prepared Directly on The Stainless Steel Diaphragm / Tech. Dig. 12th Sens. Symp A3-5:151~154
I. Ayerdi / 1995 / Characterization of Tantalum Oxynitride Thin-Films as Hightemperature Strain Gauges / Sens. Actuators A 46(1-3):218~221
K. Rajanna / 1990 / Thin-Film Pressure Transducer with Manganese Film as The Strain Gauge / Sens. Actuators A 24(1):35~39
김재민 / 2003 / 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작과 그 특성 / 센서학회지 12(6):1~204
Y. Suzuki / 1994 / CrOx Thin Film Pressure Sensor Prepared Directly on The Stainless Steel Diaphragm / Tech. Dig. 12th Sens. Symp A3-5:151~154
I. Ayerdi / 1995 / Characterization of Tantalum Oxynitride Thin-Films as Hightemperature Strain Gauges / Sens. Actuators A 46(1-3):218~221
K. Rajanna / 1990 / Thin-Film Pressure Transducer with Manganese Film as The Strain Gauge / Sens. Actuators A 24(1):35~39
김재민 / 2003 / 과부하 방지용 마이크로머시닝 세라믹 박막형 압력센서의 제작과 그 특성 / 센서학회지 12(6):1~204
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