이온빔 조사된 용액 공정 기반 LaZnO 박막 위 액정 분자의 수평 배향 특성

오병윤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 오병윤

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제32권 제5호

발행연도: 2019.1

수록면: 382 - 386 (5page)

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이온빔 조사된 용액 공정 기반의 LaZnO (LZO) 박막 위의 액정 분자 배향 특성을 연구하였다. 용액 공정을 이용하여 유리 기판 위에 LZO 박막을 형성하고 100 ℃의 온도에서 소성시켰다. 그리고 이온빔을 액정 배향법으로 도입하였다. 위의 방법으로 제작한 박막을 이용하여 액정 셀을 제작하고 배향 특성을 확인하였다. 편광 현미경과 결정 회전법를 사용하여 LZO 박막 위의 액정 분자 배향 상태를 확인하였으며, 전계 방출 주사전자 현미경과 X-선 광전자 분광법을 사용하여 이온빔이 박막에 미치는 영향을 조사하였다. 이것을 통하여 물리적, 화학적 이방성을 발생시키는 표면 변화가 이온빔에 의해 이루어졌다는 것을 확인할 수 있었다. 또한 이러한 변화를 통해 균일한 액정 배향을 얻을 수 있었다. 최종적으로 잔류 DC 전압과 액정의 고정 에너지를 정기용량-전압 분석을 통해 측정하였다.

참고문헌 (18)

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Luciano De Sio / 2011 / Silicon oxide deposition for enhanced optical switching in polydimethylsiloxane-liquid crystal hybrids / Optics Express 19(23):23532

J. Stöhr / 1998 / Microscopic Origin of Liquid Crystal Alignment on Rubbed Polymer Surfaces / Macromolecules 31(6):1942~1946

Michael F. Toney / 1995 / Near-surface alignment of polymers in rubbed films / Nature 374(6524):709~711

Jos van Haaren / 2001 / Wiping out dirty displays / Nature 411(6833):29~30

S.-C. A. Lien / 1998 / Active-matrix display using ion-beam-processed polyimide film for liquid crystal alignment / IBM Journal of Research and Development 42(3.4):537~542

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