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Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Physical Properties of Sputter-deposited Al-C Thin Films
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .06
SiO₂를 이용하여 Sputtering 방법에 의하여 증착된 SiON 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering
Electronic Materials Letters
2021 .01
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
RF-sputter를 이용하여 (001)Si 기판위에 성장한 ZnO박막에 성장온도, 공정가스비, 저온버퍼가 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
RF-diode Sputtering법으로 제작한 Co박막의 자기특성과 미세구조
한국재료학회지
2018 .01
Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
스퍼터링으로 증착한 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
동일 물질 타겟의 Co-sputtering 을 통해 제작한 고내구성 박막 전해질의 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Microstructure and Oxidation Behavior of Nanostructured Ti.Si.B.C.N Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
증착 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
Gas Flow Sputtering을 이용한 나노 다공성 은 박막의 표면증강라만산란 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
Mo/Hf0.3Zr0.7O₂/n⁺-Si의 Ti 전극 기반 Direct Scavenging Effect를 활용한 SiOx 계면층 생성 억제 및 반강유전성 개선에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
투명전도성 박막의 활용을 위한 스퍼터링 증착 기술과 전망
전기전자재료학회논문지
2023 .03
스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성
한국재료학회지
2016 .01
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