지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.12
- 수록면
- 1,580 - 1,585 (6page)
- DOI
- 10.5370/KIEE.2019.68.12.1580
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
In this paper, the effects of carbon source and oxygen flow rates on the growth of high-quality polycrystalline diamond thin-film by MPECVD process and the interatomic binding characteristics by boron doping were investigated. As the N-hexane flow rate increases, the peak near 285.7eV on the high binding energy due to the carbon-carbon double bond (π bond) increases, and the crystallinity was reduced such as the decrease of the peak of single bond (σ defect). By supplying oxygen, the sp3 peak, which is a diamond carbon-carbon bond, was evident and the crystallinity was increased. In addition, the valence band electron distribution of the diamond film with high crystallinity was peaked at about 8.7eV, and the bandgap was found to be between 5.2 and 5.5eV.
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
폴리 실리콘 위에서 나노결정질 다이아몬드 박막 성장
한국표면공학회지
2017 .10
-
표면 플라즈마를 이용한 나노 다이아몬드 박막 합성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .04
-
건설용 철근 20~70Φ급 자동 철근 결속기의 설계·제작에 대한 고찰
조명·전기설비학회논문지
2016 .04
-
Deposition behavior of diamond film by chemical vapor deposition according to deposition conditions
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
-
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
a-plane 사파이어기판에 증착된 Polycrystalline Diamond 박막의 특성
한국표면공학회지
2020 .06
-
혼합된 Ar, N₂ 가스 유량에 따른 PECVD 방법에 의하여 제작된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
Photoluminescence Characteristics of the Light-Emitting Chromophores Obtained from Organic-Inorganic Hybrid Silica Spheres
Current Photovoltaic Research
2016 .09
-
Estimation of initial deposition conditions for diamond thin film growth
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
-
CH₄ 농도 변화가 Boron Doped Diamond 박막의 표면형상 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
TEM observations of the metastable nanocarbon allotropes in the initial stage of diamond growth at 300˚C during diamond hot filament CVD
Electronic Materials Letters
2023 .05
-
창의공학 교육을 위한 LEGOⓇ MindstormsⓇ EV3 연구
전자공학회지
2016 .09
-
Sputtering 방법으로 증착된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
-
전처리 조건에 따른 화학 기상 증착법에 의한 다이아몬드 필름 증착 거동
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
-
Growth of α-Ga2O3 Epitaxial Films on Al2O3 by Halide Vapor Pressure Epitaxy
마이크로전자 및 패키징학회지
2019 .01
-
Crystallinity Transfer of Growth-Rate Controlled P3HT Nanowires from a Solution to Thin-Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
-
산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구
한국표면공학회지
2016 .02
-
고압 균질기를 이용하여 형성된 셀룰로오스 나노결정의 결정 구조 및 화학적 결합 특성 연구
한국결정성장학회지
2024 .06
-
Computer Simulation of Temperature Parameter for Diamond Formation by using Hot- Filament Chemical Vapor Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0