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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 정진욱
- 발행연도
- 2020
- 저작권
- 한양대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수12
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본 논문에서는 자기 공명을 기반으로 한 공진 안테나를 사용하여 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생이 연구된다. 공진 안테나는 전력안테나와 직접적으로 연결되지 않고 각각 원통형 챔버에 설치된다. 전력 안테나에는 13.56 MHz 전력이 인가되고 공진 안테나에는 공진 주파수를 변경할 수 있도록 가변 캐패시터와 연결된다. 공진 안테나의 가변 캐패시터가 변경되어 공진 조건이 되었을 때 (공진 시), 비공진보다 약 3배에서 18배 더 큰 전체 등가 저항을 갖는 것으로 계산되었다. 고정된 인가 전력에서 저항이 증가함에 따라, 1차 측 임피던스 매칭 회로를 포함하는 전력 안테나에 흐르는 전류는 감소된다. 이는 플라즈마에 흡수되는 전력이 증가할 수 있음을 나타낸다. 실험 결과에서 공진에서 플라즈마 밀도는 비공진에서와 비교하여 약 2배에서 8배 증가하였고, 전력 전달 효율이 약 30%에서 70%까지 개선됨을 보였다. 실험 결과를 해석하기 위해 공진 안테나를 포함하는 3권선 변압기 모델이 제시되었고, 실험 결과는 모델과 잘 일치함을 보였다.
목차
목 차 Ⅰ그림 목차 Ⅳ표 목차 Ⅶ국문 요지 Ⅷ제 1장 서론 11.1 연구 배경 및 필요성 11.2 연구 범위 및 논문의 구성 7제 2장 배경 이론 82.1 유도 결합 플라즈마 82.1.1 용량성 결합 방전 모드 102.1.2 유도성 결합 방전 모드 122.1.3 비국부적 국부적 동역학 152.2 플라즈마 진단법 182.2.1 단일 랑뮤어 탐침법 182.2.2 부유 고조파 분석법 232.3 무선 전력 전송 27제 3장 공진 안테나를 포함한 유도 결합 플라즈마 방전 특성 분석 283.1 변압기 회로 모델을 이용한 플라즈마 방전 특성 분석 293.1.1 변압기 회로 모델 설명 293.2 공진 안테나를 포함한 유도 결합 플라즈마의 변압기 모델 343.2.1 변압기 회로 모델 설명 343.2.2 전력 안테나와 공진 안테나의 결합 계수 37제 4장 공진 안테나를 사용한 고효율 플라즈마 방전 연구 404.1 실험 구성 404.1.1 공진 안테나 특성 414.2 실험 결과 및 고찰 444.2.1 RF 전력 증가에 따른 플라즈마 밀도 444.2.2 RF 전력 증가에 따른 1차 측 안테나 전류 554.2.3 1차 측 손실 전력 574.2.4 전력 전달 효율 59제 5장 결 론 61참 고 문 헌 62Abstract 69감사의 글 71
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