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저자정보
김진우 (KAIST) 김영철 (KAIST) D. Kyritsis (Khalifa University) 최원호 (KAIST)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
96 - 96 (1page)

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