Selectively Dry Cleaning of Silicon Oxide using Cyclic Process

이진욱 ,  김두산 ,  김주은 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물 식각 공정

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Effects of molybdenum oxide interfacial layer on contacts between conducting oxides and p-type silicon

Gyujin OH ,  Eun Kyu KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Cyclic Dry Etching of SiO₂ using NF₃/H₂ remote plasma

길홍성 ,  길유정 ,  김두산 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Silicon oxide 두께에 따른 온도센서의 특성분석

유태균 ,  박준희 ,  장문규

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Cyclic Plasma Cleaning Process of SiO2 Layers using Surface Fluorination

Kyongbeom Koh ,  Duhyeon Ka ,  Hong 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effects of the NH₃ plasma functionalization of graphene oxide films on the cellular oxidative stress response

Ok Ja Yoon ,  Young Min Son ,  Byeong-Ung Hwang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

기계적 특성이 향상된 Oxide metal oxide hybrid 전극 특성 평가

박성민 ,  김서한 ,  송풍근

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

A study on the change of thermal stability and optical properties according to the application of carbon diffusion barrier

Se ,  an Pa ,  k 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

An easily accessible method for DNA immobilization on silicon surfaces

트란티중 ,  호앙힙 ,  김문일

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Nanosecond Laser Cleaning of Aluminum Alloy Oxide Film

Hang Dong ,  Yahui Li ,  Shanman Lu 외 2명

Current Optics and Photonics

2023 .12

Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effect of surface cleaning for laser texturing of mc-silicon wafer

Seung Hyun HA ,  Hee Soo KIM ,  Gi Ryoung MAENG 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Influence of additive and current condition in Through Silicon Via(TSV) filling

신세희 ,  박정호 ,  김태유 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Electric-field control of spin orbit torque behaviors by bias-dependent TaO_x oxide dynamics

Jeonghun Shin ,  Jeongwoo Seo ,  Jungyup Yang 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2020 .07

Electrical Properties of Tungsten Oxide Interfacial Layer for Silicon Solar Cells

Gyujin Oh ,  Eun Kyu Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Observation of unconventional Hall signal in ferrimagnet/oxide/silicon structure.

Jun-Ho Kang ,  Soogil Lee ,  Dohyoung Kim 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2020 .11

Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System

권정대 ,  남기석 ,  김동호

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Synthesis and characterization of silicon/reduced graphene oxide composite film as a high performance anode for lithium ion batteries

Sang-Hoon LEE ,  Yong-Jae KIM ,  Ye-Seol NAM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Low global warming potential alternative gases for plasma chamber cleaning

Kyung Chae YANG ,  Sung Woo PARK ,  Geun Young YEOM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08