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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 144 - 144 (1page)
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미세 패턴에서의 습식 식각은 모세관 현상으로 인한 패턴 기울어짐, 패턴 고착 등의 문제점들이 발생할 수 있으며, 이러한 문제들을 최소화하기 위해 건식 식각을 적용할 수 있다. 그러나 미세 패턴의 측변에 반응물이 두껍게 형성되어 고종횡비 패턴의 내부 식각에 어려움이 있을 수 있다. 따라서 본 연구에서는 NF<sub>3</sub>/H<sub>2</sub> 리모트 플라즈마에 의한 HF 흡착과 NH<sub>3</sub ... 전체 초록 보기
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