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저자정보
Cheolmin Ahn (Pohang University of Science and Technology) Soon Ku Kwon (Pohang University of Science and Technology) Beomjin Park (Pohang University of Science and Technology) Jahyun Koo (Pohang University of Science and Technology) Jae-Yoon Sim (Pohang University of Science and Technology)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.20 No.3
발행연도
2020.6
수록면
231 - 241 (11page)
DOI
10.5573/JSTS.2020.20.3.231

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This paper presents a first-time single-chip microwave-excited plasma driver IC with resonance-frequency tracking and output-power-regulation scheme for biomedical applications. The power module includes a driver IC and a power amplifier, and is designed to provide stable microwave power that is required for generation of a plasma jet. A 2.4- GHz coaxial transmission line resonator is used to generate the plasma jet using input microwave power. The proposed system continuously monitors the resonance frequency, and controls it by adaptively changing the microwave frequency. To prevent the plasma jet from becoming high enough to damage human skin, the system monitors the power entering the resonator and keeps it constant. The proposed microwave plasma driver IC is implemented in a 0.18-μm complementary metal-oxide-semiconductor process. The system generates stable 1 W with a frequency tracking.
#Portable microwave generator #atmospheric-pressure plasma #low-temperature plasma #power efficiency #impedance matching

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. PROPOSED MICROWAVE-EXCITED PLASMA DRIVER IC
III. 2.4-GHZ COAXIAL TRANSMISSION LINE RESONATOR
IV. IMPLEMENTATION AND MEASUREMENT RESULTS
V. CONCLUSION
REFERENCES

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
R. J. Goldston and P. H. Rutherford, Introduction to Plasma Physics. London, U.K.: IOP, 1995, pp. 1-2. google schola H. Conards and M. Schmidt, “Plasma generation and plasma sources,” Plasma Sources Sci. Technol., vol. 9, no. 4, pp. 441-454, Nov. 2000. google schola M. Laroussi, “Low-temperature plasmas for medicine?” IEEE Trans. Plasma Sci., vol. 37, no. 6, pp. 714?725, Jun. 2009. google schola B. Bai, X. Li, J. Xu, and Y. Liu, “Reflections of electromagnetic waves obliquely incident on a multilayer stealth structure with plasma and radar absorbing material,” IEEE Trans. Plasma Sci., vol. 43, no. 8, pp. 2588?2597, Aug. 2015. google schola S.-J. Park et al., “Inactivation of S. mutants using an atmospheric plasma driven by a palm-sizeintegrated microwave power module,” IEEE Trans.Plasma Sci., vol. 38, no. 8, pp. 1956-1962, Aug. 2010. google schola

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