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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.4
- 수록면
- 150 - 159 (10page)
이용수
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This paper presents a study on the design optimization of a 5 kW plasma discharger for driving plasma reactor. The proposed study is composed of a high-frequency inverter based on the full-bridge circuit using soft switching techniques for high-frequency switching. The switching frequency in the operating region is the area of 130–200 kHz. By applying the LC resonance technique and a variable switching frequency, control technique is designed to be stable under changes in the load characteristics of the plasma reactor. This paper presents a quantitative analysis technique for design optimization. Experiments are performed according to load characteristic variations depending on the vacuum of the plasma reactor. This paper has verified the topology and design method for the 5 kW plasma discharger design.
목차
Abstract
1. 서론
2. 설계
3. 모의실험
4. 손실분석
5. 실험
6. 결론
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
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W. C. Lee and T. K. Lee, “The study on reactor parameters of atmosphere plasma power supply,” The Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers, Vol. 26, No. 6, pp. 59-65, June 2012.
J. H. Kim, W. S. Lee, J. J. Ahn, C. Y. Won, D. K. Choi, and S. D. Choi, “A study on the design of the high power active clamp ZVS flyback converter for semiconductor plasma etching system,” Power Electronics Annual Conference, pp. 400-403, Jul. 2000.
M. Y. Kim, K. D. Seo, H. M. Han, B. J. Choi, and J. S. Kim, “A study on soft switching boost type power supply using load resonance for atmospheric pressure plasma generation,” Power Electronics Annual Conference, pp. 25-28, Oct. 2008.
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