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ZnO single layer films (100 nm thick) and Au intermediated ZnO films (ZnO/Au/ZnO; ZAZ) were deposited on the glass substrate by RF and DC magnetron sputtering at room temperature and then the influence of the Au interlayer on the electrical and optical properties of the films were investigated. ZnO thin films show the visible transmittance of 90.3 % and sheet resistance of 63.2⨉10<SUP>8</SUP> Ω/□. In ZAZ films, as Au interlayer thickness increased from 6 to 10 nm, the sheet resistance decreased from 58.3⨉10<SUP>8</SUP> to 48.6 Ω/□, and the visible transmittance decreased from 84.2 to 73.9 %. From the observed results, it can be concluded that the intermediate Au thin film enhances the opto-electrical performance of ZnO films without intentional substrate heating.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
A. H. Ali, A. S. A. Bakar, Z. Hassan, Improved optoelectronics properties of ITO-based transparent conductive electrodes with the insertion of Ag/Ni under-layer, Appl. Surf. Sci., 3151 (2014) 387-391.
D. Kim, Improved electrical and optical properties of GZO films with a thin TiO2 buffer layer deposited by RF magnetron sputtering, Ceram. Inter., 40 (2014) 1457-1460.
Y. S. Kim, S. B. Heo, H. M. Lee, Y. J. Lee, D. Kim, Effects of electron irradiation on the properties of GZO films deposited with RF magnetron sputtering, Appl. Surf. Sci., 258 (2012) 3903-3906.
G. H. Jo, J. H. Koh, Laser annealing effects on Ga dopants for ZnO thin films for transparent conducting oxide applications, Ceram. Inter., 45 (2019) 6190-6197.
C. H. Hong, Y. J. Jo, H. A. Kim, I. H. Lee, J. S. Kwak, Effect of electron beam irradiation on the electrical and optical properties of ITO/Ag/ ITO and IZO/Ag/IZO films, Thin Solid Films, 519 (2011) 6829-6833.
D. Kim, Improved electrical and optical properties of GZO films with a thin TiO2 buffer layer deposited by RF magnetron sputtering, Ceram. Inter., 40 (2014) 1457-1460.
Y. S. Kim, S. B. Heo, H. M. Lee, Y. J. Lee, D. Kim, Effects of electron irradiation on the properties of GZO films deposited with RF magnetron sputtering, Appl. Surf. Sci., 258 (2012) 3903-3906.
G. H. Jo, J. H. Koh, Laser annealing effects on Ga dopants for ZnO thin films for transparent conducting oxide applications, Ceram. Inter., 45 (2019) 6190-6197.
C. H. Hong, Y. J. Jo, H. A. Kim, I. H. Lee, J. S. Kwak, Effect of electron beam irradiation on the electrical and optical properties of ITO/Ag/ ITO and IZO/Ag/IZO films, Thin Solid Films, 519 (2011) 6829-6833.
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