메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
219 - 224 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
0.35 μm, 0.5 μm, 1.5 μm 및 2.5 μm의 입자 크기가 다른 Al2O3 분말이 에어로졸 증착 공정을 통해 유리 기판과 구리 기판에 증착되었다. 입자 크기가 코팅층 성막에 미치는 영향을 알아보기 위해 네 종류의 Al2O3 분말을 사용하여 코팅된 Al2O3 필름의 성막 특성을 조사하였다. Al2O3 필름의 미세구조를 자세히 분석하기 위해, 단면과 표면 형상을 관찰하였다. 또한, 증착이 일어나는 동안 미세 변형과 망치 효과를 확인하기 위해 X-ray 회절 피크로부터 결정 크기 및 내부 변형을 계산하였다. 상기의 분석 결과로부터, 입자 형상과 관련지어 증착 메커니즘을 연구하였다. 본 연구에서는 거친 표면 거칠기를 갖는 다공성 Al2O3 필름뿐만 아니라 부드러운 표면 거칠기를 갖는 치밀한 Al2O3 필름 제작을 위한 최적의 입자 크기를 각각 제안하고자 한다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (17)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0