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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 219 - 224 (6page)
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0.35 μm, 0.5 μm, 1.5 μm 및 2.5 μm의 입자 크기가 다른 Al2O3 분말이 에어로졸 증착 공정을 통해 유리 기판과 구리 기판에 증착되었다. 입자 크기가 코팅층 성막에 미치는 영향을 알아보기 위해 네 종류의 Al2O3 분말을 사용하여 코팅된 Al2O3 필름의 성막 특성을 조사하였다. Al2O3 필름의 미세구조를 자세히 분석하기 위해, 단면과 표면 형상을 관찰하였다. 또한, 증착이 일어나는 동안 미세 변형과 망치 효과를 확인하기 위해 X-ray 회절 피크로부터 결정 크기 및 내부 변형을 계산하였다. 상기의 분석 결과로부터, 입자 형상과 관련지어 증착 메커니즘을 연구하였다. 본 연구에서는 거친 표면 거칠기를 갖는 다공성 Al2O3 필름뿐만 아니라 부드러운 표면 거칠기를 갖는 치밀한 Al2O3 필름 제작을 위한 최적의 입자 크기를 각각 제안하고자 한다.
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