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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.8
- 수록면
- 305 - 309 (5page)
- DOI
- 10.7735/ksmte.2020.29.4.305
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In this study, the effect of electron beam irradiation on surface properties, such as hardness, adhesion, and surface roughness, of TiN films was investigated. The films were deposited on an SKD-61 substrate through cathodic arc ion plating. After deposition, the films were bombarded with an intense electron beam under incident energies of 500, 1000, and 1500 eV for 10 min. From the results, the surface hardness increased up to 3357 HVIT at 1500 eV, and the critical load increased proportionally with irradiation energy from 15.8 to 23.4 N. In addition, the surface root-mean-square roughness of the films was significantly influenced by electron irradiation. Films subjected to electron irradiation at 1500 eV exhibited the lowest roughness of 397 nm.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
윤석영 / 2002 / 아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적특성 비교 / 한국표면공학회지 35(4):199~205
Gui Li / 2019 / Characterization and corrosion behaviors of TiN/TiAlN multilayer coatings by ion source enhanced hybrid arc ion plating / Surface and Coatings Technology 366:355~365
전성용 / 2013 / DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 수퍼하드 TiN 코팅막의 물성 비교연구 / 한국표면공학회지 46(2):55~60
김재범 / 2002 / ALD법으로 증착한 TiN막의 특성 / Applied Science and Convergence Technology 11(3):159~165
Sungbo Heo / 2019 / Oxidation Behavior of Ti–Al–Si–N–O Nanocomposite Films Deposited by Filtered Arc Ion Plating Technique / Journal of Nanoscience and Nanotechnology 19(7):4195~4198
Gui Li / 2019 / Characterization and corrosion behaviors of TiN/TiAlN multilayer coatings by ion source enhanced hybrid arc ion plating / Surface and Coatings Technology 366:355~365
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