RF-diode Sputtering법에 의한 Y-Ba-Cu-O 초전도체의 박막공정 연구 ( Fabrication of Superconducting Y-Ba-Cu-O Thin Films by RF-diode Sputtering Method )

유형준 ,  Y. Unekawa ,  마동성 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

RF-diode Sputtering 법에 의한 Y-Ba-Cu-O 초전도체의 박막공정 연구 ( Fabrication of Superconducting Y-Ba-Cu-O Thin Films by RF-diode Sputtering Method )

유형준 ,  Y. Unekawa ,  마동성 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Rf-magnetron sputtering system을 사용한 YBa₂Cu₃O_x초전도 박막의 제조

박성진 ,  김민기 ,  최성환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 Cu₂ZnSnS₄박막 특성에 관한 연구

이재춘 ,  설재승 ,  남효덕 외 2명

한국표면공학회지

2002 .02

Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering법에 의해 형성된 MgO 박막의 결정성과 Plasma Dmage에 미치는 영향

손충용 ,  박정원 ,  조진희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Effect of Sn on the growth of 123 phase in $Y_{1}Ba_{2}Cu_{3}O_{7-{\delta}}$ system

임대호 ,  송명엽 ,  이희균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구

정연우 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 Cu₂ZnSnS₄박막의 특성분석

이상율 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11