RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구

정연우 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

A STUDY ON THE RELATIONSHIP BETWEEN PLASMA CHARACTERISTICS AND FILM PROPERTIES FOR MgO BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

Kyung H. Nam ,  Yun M. Chung ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering 법으로 제조한 Pt 박막과 MgO 씨앗층의 우선배향성

이창승 ,  이원종 ,  노광수 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO₃ 박막의 강유전 특성

최우창 ,  최혁환 ,  이명교 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

MgO 증착을 위한 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에서 실시간 공정 진단

주정훈

한국표면공학회지

2005 .04

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

불평형 마그네트론 스파터링에 의해 형성된 MgO 박막의 글로우 방전특성에 관한 연구

김영기 ,  박정태 ,  고광식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에 의한 MgO 박막의 특성 연구

김선호 ,  주정훈

한국표면공학회지

2004 .06