RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Sr_1-xCa_x)TiO₃ 박막의 제조 및 유전특성

김진사 ,  백봉현 ,  장원석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성

배강 ,  손선영 ,  홍재석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구

성현호 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구

장대광 ,  김영미 ,  정예린 외 3명

한국안광학회지

2019 .09

$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성

김성연 ,  함문호 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성

이정철 ,  이건환 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Deposition of ZrO₂ and TiO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering Method and Study on Their Structural Characteristics

Y. S. Shin ,  S. H. Jeong ,  C. H. Heo 외 4명

한국표면공학회지

2002 .02