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Abstract
1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENT
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES
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RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Sr1-xCax)TiO₃ 박막의 제조 및 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구
한국안광학회지
2019 .09
스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 면저항분석
한국안광학회지
1999 .06
RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiNx 박막의 XPS 분석
한국안광학회지
1998 .12
R.F 마그네트론 스퍼트링으로 작성된 TiO₂박막의 NOx 감지 특성
전기학회논문지 C
2002 .11
RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성
한국재료학회지
2002 .01
RF Sputtering법으로 제조된 TiO 박막의 광촉매 특성
한국재료학회지
2003 .01
증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화
열처리공학회지
2016 .01
반응성 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO$_2$박막의 미세조직에 관한 연구
한국재료학회지
2001 .01
RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
DC 펄스 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 특성변화에 관한 연구
한국표면공학회지
2015 .04
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