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저자정보
Song, Byoung-Kwan (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University) Lee, Young-Joon (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University) Lee, Chang-Heon (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University) Hwang, Hyun-Ki (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University) Yeom, Guen-Young (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2002.1
수록면
621 - 624 (4page)

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In this study, outgassing characteristics of MgO films, and the plasma cleaning effects of the deposited MgO films by atmospheric pressure plasma on outgassing rate were compared. The MgO layer was heated up to 350 $^{\circ}C$ and the outgassing characteristics were observed for the heated conditions. As the main impurity species $H_2,\;H_2O,\;N_2,\;CO_2,\;and\;H_2O$ were released from this panel. Impurity species of plasma treatment panel were lower than non-treated panels for the heating temperature

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