Twin target sputtering system with ladder type magnet array for direct Al cathode sputtering on organic layers

정진아; 문종민; 김한기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정진아 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) 문종민 (금오공과대학교 정보나노소재공학과) 김한기 (금오공과대학교 정보나노소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및

발행연도: 2007.1

수록면: 772 - 772 (1page)

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