유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

Influence of the O/Al ratio on the properties of Al₂O₃ barrier layers deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

이종걸 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .10

$H_2O$ plasma를 이용한 $SrTiO_3$ Atomic Layer Deposition

권오성 ,  김성근 ,  황철성 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

플라즈마 표면 처리를 이용한 TiO₂ MOS 커패시터의 특성 개선

신동혁 ,  조혜림 ,  박세란 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment

Kim ,  Dong-Woo ,  Kim 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoO_x film의 특성

임태완 ,  장효식

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

Atomic Layer Deposition for Displays Applications

최동원 ,  박진성

인포메이션 디스플레이

2013 .01

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Plasma-assisted atomic layer deposition에 의해 증착된 알루미늄 산화막의 열처리 후 효과

송세영 ,  장효식 ,  송희은

한국에너지학회 학술발표회

2013 .05

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

Al2O3 interlayer deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition for improving lifetime of OLED based on flexible steel substrate

박세열 ,  김래호 ,  김경훈 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Metal Thin film Prepared by Atomic Layer Deposition for Contact Application of Nanoscale Device

방성환 ,  이한보람 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

결정질 실리콘 태양전지의 Al₂O₃/SiN_X 패시베이션 특성 분석

현지연 ,  송인설 ,  김재은 외 4명

Current Photovoltaic Research

2017 .06

Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Characterization of Thin Films deposited at Low Temperature by using Atomic Layer Deposition and E-beam Evaporation

Jeong Hwan Kim ,  Sung-Woong Lee ,  Jae-Sung Yoo 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Properties of Al₂O₃/TiO₂ mixed oxides for thin film encapsulation of organic light emitting diodes via plasma enhanced atomic layer deposition

김래호 ,  박선욱 ,  정용진 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10