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저자정보
김준영 (대일개발 부설기술연구소) 이향숙 (대일개발 부설기술연구소) 신창훈 (대일개발 부설기술연구소) 김주엽 (대일개발 부설기술연구소) 김현상 (대일개발 부설기술연구소) 안재우 (대진대학교 신소재공학과)
저널정보
한국자원리싸이클링학회 한국자원리싸이클링학회 학술발표대회 한국자원리싸이클링학회 2006년도 춘계임시총회 및 제27회 학술발표대회
발행연도
2006.1
수록면
47 - 55 (9page)

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실리콘웨이퍼 제조공정에서 발생되는 초산, 불산 및 질산을 함유한 3성분계 폐혼산으로부터 각 산을 분리하여 무기산으로 재활용하기 위하여 용매추출법을 적용하였다. 이러한 산을 선택적으로 분리하기 위해 추출제로 초산의 경우는 EHA(2-Ethylhexlalcohol)를 사용 하였으며 질산과 불산의 경우에는 TBP(Tri -butlyphosphate)를 사용하여 추출과정과 탈거과정에 대한 공정설계를 위한 기초 실험을 실시하였다. 3성분계 페혼산에서 먼저 초산을 추출 분리하고, 추출여액중 질산 및 불산을 순차적으로 연속 분리 할 수 있는 공정개발을 위하여 McCabe-Thiele해석을 통해 최적 투입유량비(O/A), 소요단수(Stage) 등을 결정하였다. 분석 결과 혼산으로부터 초산의 회수율은 90%이상 이었으며 초산추출여액에서 질산의 회수율은 90%이상, 최종 추출잔류액에서 불산의 회수율은 67%이상 이었다.
#용매추출 #초산 #불산 #질산 #solvent extraction #acetic acid #nitic acid #hrdrofluoric acid #EHA #2-Ethylhexlalcohol) #TBP #Tri-butly phosphate)

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