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학술저널
저자정보
김현상 ([주]엔아이티, 대일개발[주]) 김주엽 (한양대학교) 이향숙 ([주]엔아이티, 대일개발[주]) 신창훈 ([주]엔아이티, 대일개발[주]) 김준영 ([주]엔아이티, 대일개발[주]) 배우근 (한양대학교) 안종관 (한국지질자원연구원)
저널정보
한국자원리싸이클링학회 자원리싸이클링 자원리싸이클링 제17권 제5호
발행연도
2008.1
수록면
3 - 10 (8page)

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반도체 웨이퍼 제조 공정 중 발생하는 질산, 불산, 초산으로 구성된 혼산을 재활용하기 위한 연구를 수행하였다 초기에 $NaNO_3$와 $Na_{2}SiO_3$를 사용하여 불산을 $Na_{2}SiF_6$로 침전시켜 회수하였고, 이 때 혼산 중 불산의 농도는 초기 110g/L에서 0.5g/L로 낮아져 불산 회수율은 99.5%였다. 불산회수 후 남은 혼산의 질산과 초산의 농도는 각각 498g/L, 265g/L였고, 이 혼산을 2단계 분별증류 법에 의해 분리 회수하였다. 1단계에서는 초산을 증류하여 질산과 분리해내고, 2단계에서는 증류된 초산 중 잔류하는 미량의 질산을 제거하여 순수 초산만을 회수하였다. 회수된 초산의 농도는 약 20%였고, 최종회수율은 약 87.5%이었다.
#침전 #분별증류 #불산 #초산

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